鈦泵分熱鈦泵與冷鈦泵,一般用濺射離子源,是冷鈦泵,是一種新型表面吸附型泵。它利用化學(xué)性質(zhì)活潑的鈦金屬具有很強的吸氣能力。
其抽氣機理為:
(1)活性氣體分子碰撞在新鮮的鈦膜上,由于化學(xué)吸附形成穩(wěn)定的化合物。隨后又被不斷蒸發(fā)與濺射而形成的新鈦膜所覆蓋,新鮮鈦膜又繼續(xù)吸附氣體分子,形成穩(wěn)定的抽氣能力。
(2)非活性氣體分子(如氬、氦等惰性氣體)被電離后,在電場力的作用下,打在鈦膜上,隨之又被蒸發(fā)的新鈦膜“掩埋”掉。
(3)活性氣體分子離子化后激發(fā)為亞穩(wěn)態(tài),(或解離為單個離子)增加化學(xué)活性,使泵的抽速增加。